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半导体参数分析系统 Semiconductor Parameter Analyzer

型号规格 4200A-SCS

仪器负责人 竺立强

存放地点 龙赛理科楼北楼111

应用范围 用于器件、材料和半导体工艺参数分析。具有无可比拟的测量灵敏度和精度，同时继承了嵌入式Windows操作系统和吉时利交互式测试环境。标准半导体器件参数测试库；纳米器件参数测试库；WLR可靠性参数测试库；半导体CV参数分析库。任意一个SMU，CVU，PMU均只占一个插槽，一共8个插槽，方便扩展升级。