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等离子刻蚀机
发布时间: 2025-03-03 10:34
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等离子刻蚀机 Plasma Etching Machine

型号规格 中国科学院微电子所 ICP-98A

仪器联系人 陈王华

存放地点 龙赛理科楼北楼106

应用范围 利用感应耦合等离子体(ICP)技术进行刻蚀的设备。