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电子束蒸发台 Electron Beam Evaporation

型号规格 HHV Ltd/AUTO-306

仪器联系人 王旭

存放地点 龙赛理科楼北楼404

应用范围 一种多功能的紧凑型镀膜设备，设计用于满足科研工作者和电子显微学家的需求。配备各种真空系统、真空腔室和标准化工艺附件，可选择配置钟罩式玻璃腔室、圆柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前开门式不锈钢箱式腔室。FL400腔室具有额外的高度与宽度，适用于安装较多的工艺附件。