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全自动椭圆偏振光谱仪 Fully Automatic Spectroscopic Ellipsometer

型号规格 上海三科SC630型

仪器联系人 黄水平

存放地点 龙赛理科楼北楼111

应用范围 薄膜膜厚及光学性质（折射率、消光系数、吸收系数、复介电函数等）测量。波长范围： 250-1700 nm；波长精度：1 nm。入射角范围：20- 90，自动控制；入射角控制精度：0.01。椭偏参数准确度： tan(Psi)≤0.003，cos(Delta)≤0.000001；重复性：Psi=±0.01°，Delta=±0.02°。折射率精度：0.001。测量厚度范围：0-50微米；厚度精度：0.1 nm。