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紫外光刻机
发布时间: 2025-03-03 14:20
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紫外光刻机 UV Lithography Machine

型号规格 德国SUSS公司 MJB4

仪器联系人 陈王华

存放地点 龙赛理科楼北楼402

应用范围
主要用于 MEMS、先进封装、三维封装、化合物半导体、功率器件、太阳能、纳米技术和晶圆片级光学系统等领域的光刻应用。